มีหัวฉีดละอองอัลตราโซนิกสองประเภท ขั้นแรกให้ฉีดพ่นโดยผสมอากาศอัดกับของเหลว มีการติดตั้งฝาครอบกระแทกแบบอัลตราโซนิกที่ส่วนหน้าของหัวฉีด ส่วนนี้เชื่อมต่อด้วยลวดเหล็กเส้นเล็กๆ และละอองที่พ่นออกมาจะกระทบกับส่วนนี้ ที่ด้านบน ชิ้นส่วนจะสั่นสะเทือนด้วยความถี่สูง ซึ่งจะบดขยี้หยดละอองและทำให้มีขนาดเล็กลง เราเรียกหัวฉีดประเภทนี้ว่าหัวฉีดแบบหลายขั้นตอน

อีกวิธีหนึ่งคือการสลายโมเลกุลของน้ำของเหลวผ่านแผ่นอะตอมไมเซชั่นความถี่สูงเพื่อสร้างละอองน้ำที่เป็นธรรมชาติและสง่างาม แล้วเป่าละอองน้ำออกจากถังเก็บน้ำทำให้เป็นละอองผ่านพัดลม

การ หัวฉีดสามารถผลิตละอองน้ำที่มีขนาดอนุภาคไมโครมิเตอร์ได้ หยดเล็กๆ ดังกล่าวจะไม่ทำให้วัตถุเปียก เนื่องจากแรงตึงผิวของน้ำ ละอองน้ำจะพุ่งออกมาหลังจากกระทบกับวัตถุ